nanoTHz納米分辨太赫茲成像和光譜系統(tǒng)在半導(dǎo)體工業(yè)中有著巨大的應(yīng)用潛力,受益于太赫茲良好的穿透性和低能量以及納米級的高空間分辨率,系統(tǒng)對半導(dǎo)體產(chǎn)品可進(jìn)行無損檢測,表征其太赫茲波段下的載流子濃度分布和響應(yīng)。
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nanoTHz納米分辨太赫茲成像和光譜系統(tǒng)在半導(dǎo)體工業(yè)中有著巨大的應(yīng)用潛力,受益于太赫茲良好的穿透性和低能量以及納米級的高空間分辨率,系統(tǒng)對半導(dǎo)體產(chǎn)品可進(jìn)行無損檢測,表征其太赫茲波段下的載流子濃度分布和響應(yīng)。
系統(tǒng)對半導(dǎo)體產(chǎn)品可以進(jìn)行 無損檢測
受益于太赫茲良好的穿透性以及納米級的超高空間分辨率
納米級的超高空間分辨率,系統(tǒng)對半導(dǎo)體產(chǎn)品可進(jìn)行無損檢測
受益于太赫茲良好的低能量以及納米級的超高空間分辨率
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