太赫茲（THz）介于紅外和微波之間，電磁頻譜中位于0.1~10THz（對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)范圍30um~3000um），在國(guó)防軍工、生物醫(yī)療、天文探測(cè)等眾多領(lǐng)域具有極高應(yīng)用潛力。然而，根據(jù)瑞利散射定理，太赫茲儀器的空間分辨率受制于激發(fā)半波長(zhǎng)，一般在數(shù)十至數(shù)千微米之間，極大地限制了其微納領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。納米太赫茲顯微光譜系統(tǒng)結(jié)合原子力顯微鏡和太赫茲源激發(fā)技術(shù)，可以在納米級(jí)空間分辨率實(shí)現(xiàn)太赫茲的成像和譜學(xué)分析。
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